Feature

• กำลังขยายของภาพได้ตั้งแต่ 40 เท่า ถึง 300,000 เท่า
• มี image mode 4 ชนิด คือ SEI, Composition (BSE), Topography และ Cathodoluminescence
• สามารถดูตำแหน่งตัวอย่างที่อยู่ในเครื่องได้
• สามารถวิเคราะห์ธาตุบนพื้นผิวของตัวอย่างได้ทั้ง EDS และ WDS
• สามารถวิเคราะห์องค์ประกอบเชิงปริมาณและเชิงคุณภาพได้
• สามารถทำแผนที่การกระจายตัวของธาตุเพื่อแสดงแผนที่การกระจายตัวของธาตุต่าง ๆ ภายในตัวอย่าง (Mapping Analysis)
• สามารถวัดกระจายของธาตุเชิงเส้นภายในตัวอย่างได้ (Line analysis)
• สามารถตรวจวัดธาตุที่มีความเข้มข้นต่ำ: สามารถตรวจพบธาตุที่มีความเข้มข้นต่ำได้ถึงระดับ ppm.
• ความละเอียดสูงในการวิเคราะห์จุด: สามารถวิเคราะห์องค์ประกอบในพื้นที่ขนาดเล็กมาก (ขนาดจุดประมาณ 1-2 ไมโครเมตร)