Transmission electron microscopy – TEM

JEOL

Model : JEM 1400

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนชนิดส่องผ่านเป็นเครื่องมือสำหรับวิเคราะห์ลักษณะโครงสร้างของตัวอย่างโดยการถ่ายภาพกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนชนิดส่องผ่านประกอบด้วย electron gun, magnetic lens และfluorescece screen โดย electron gun จะปลดปล่อยอิเล็กตรอนจาก filament ที่ถูกทำให้ร้อนโดยการใช้กระแสไฟฟ้าหลังจากนั้นอิเล็กตรอนจะถูกเร่งด้วยความต่างศักย์สูงในช่วงประมาณ 80 ถึง 120 กิโลโวลต์ ทำให้อิเล็กตรอนมีพลังงานเพียงพอที่จะทะลุผ่านตัวอย่างได้ ลำอิเล็กตรอนนี้จะเคลื่อนที่ผ่านเลนส์ชุดแรกที่จะทำหน้าที่รวบรวมอิเล็กตรอนและฉายลงบนตัวอย่าง(Condenser lens) หลังจากที่อิเล็กตรอนกระทบตัวอย่างจะเกิด interaction กับตัวอย่างได้เป็นอิเล็กตรอน 2 กลุ่มคือกลุ่มที่เคลื่อนที่ผ่านตัวอย่างโดยไม่มีการเลี้ยวเบน (Transmission beam) และกลุ่มที่มีการเลี้ยวเบน (Diffraction beam) อิเล็กตรอนทั้ง 2 กลุ่มนี้จะเคลื่อนที่มายัง objective lens แล้วถูกสร้างเป็นภาพ bright-field image, dark-field image และ electron diffraction pattern